Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/2445/167718
Title: | L'el·lipsometria, una eina de caracterització òptica dels materials |
Author: | Canillas i Biosca, Adolf Campmany i Guillot, Josep, 1966- Pascual Miralles, Esther Bertrán Serra, Enric |
Keywords: | El·lipsometria Òptica Ellipsometry Optics |
Issue Date: | 1996 |
Publisher: | Societat Catalana de Física |
Abstract: | El nom el·lipsometria va ser introduït l'any 1945 per Alexandre Rothen en un article publicat a Review of Scientific Instruments, titulat The Ellipsometer,an Apparatus to Measure Thicknesses of Thin Films. L'el·lipsometria, en el sentit més general, fa referencia a la mesura del canvi de l'estat de polarització de la llum en reflectir-se en una superfície. Del resultat de la mesura el.lipsomètrica es poden pot obtenir les constants òptiques del material que origina la reflexió. Les primeres experiències el.lipsomètriques daten del final del segle XIX; bàsicament, en aquestes experiències s'utilitzaven dos polaritzadors. Un, per tal de polaritzar la llum que es feia incidir sobre el material, i un altre, el qual s'anomena analitzador, que servia per determinar l'estat de polarització de la llum reflectida (Casas, 1980). |
Note: | Reproducció del document publicat a: http://revistes.iec.cat/index.php/RdF/article/viewFile/4417 |
It is part of: | Revista de Física, 1996, num. 10, p. 4-11 |
URI: | http://hdl.handle.net/2445/167718 |
ISSN: | 1131-5326 |
Appears in Collections: | Articles publicats en revistes (Física Aplicada) |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
112289.pdf | 3.96 MB | Adobe PDF | View/Open |
This item is licensed under a Creative Commons License