Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/2445/41810
Title: HWCVD Technology Development Addressed to the High Rate Deposition of mi-c-Si:H
Author: Nos Aguilà, Oriol
Director: Bertomeu i Balagueró, Joan
Frigeri, Paolo Antonio
Keywords: Deposició en fase de vapor
Deposición en fase de vapor
Vapor-plating
Hot Wire CVD
ECV de alambre caliente
ECV de fil calent
Cat-CVD
Cèl·lules solars
Células solares
Solar cells
Silici
Silicio
Silicon
Pel·lícules fines
Películas delgadas
Thin films
Microcrystalline silicon
Silici microcristal.lí
Silicio microcristalino
Issue Date: 7-Jan-2013
Publisher: Universitat de Barcelona
Abstract: [eng] The first block of this thesis deals with the study of the degradation process of tungsten catalytic filaments in the field of silicon deposition with the Hot Wire Chemical Vapour Deposition (HWCVD) technique. The development of technological solutions addressed to the filaments protection will also be dealt as well as the design, fabrication and performance of a novel system for the automatic replacement of used filaments in a HWCVD reactor. The second block deals with the scaling up of HWCVD towards large area deposition and the existence of a scaling law that may allow the deposition of microcrystalline silicon (µc-Si:H) at high rate preserving the material quality.
[cat] El primer bloc d'aquesta tesi es centra en l'estudi del procés de degradació dels filaments de tungstè catalítics en el camp de la deposició de silici amb la tècnica de dipòsit químic en fase vapor assistida per filament calent (HWCVD). També es tractarà el desenvolupament de solucions tecnològiques dirigides a la protecció filaments i al reemplaçament d’aquests de forma automàtica, sense interrompre el procés. El segon bloc tracta sobre l’escalat de la tècnica HWCVD cap a gran àrea i sobre l'existència d'una llei d'escala que permeti la deposició de silici microcristal•lí a altes velocitats, tot preservant la qualitat del material.
URI: http://hdl.handle.net/2445/41810
Appears in Collections:Tesis Doctorals - Departament - Física Aplicada i Òptica

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
ONA_PhD_THESIS.pdf9.15 MBAdobe PDFView/Open


This item is licensed under a Creative Commons License Creative Commons