Miniatura

Fitxers

592885.pdf (503.35 KB)

Tipus de document

Article

Versió

Versió publicada

Data de publicació

2011

Llicència de publicació

cc-by-nc-nd (c) Duarte, J.E. et al., 2011
Si us plau utilitzeu sempre aquest identificador per citar o enllaçar aquest document: https://hdl.handle.net/2445/69309

Design and characterization of thermally actuated bimetallic membranes by Michelson interferometry

Títol de la revista

Autors

Director/Tutor

ISSN de la revista

Títol del volum

Recurs relacionat

Resum

This paper presents the design and characterization of thermally actuated Al-Si bimetallic membranes. The design was made with the Finite Element Method and was emphasized on optimizing the thickness ratio between the aluminum and silicon layers. The membrane deflection was measured employing the Michelson Interferometer. The experimental process was carried out with square membranes of 5 mm of side length, 10 mm in silicon thickness, and an aluminum thicknesses of 4 and 1 mm. A maximum deflection of 14 mm was obtained for membranes with 4 mm of aluminum thickness, which is consistent with predictions made by numerical calculations.

Matèries

Interferometria, Mètode dels elements finits, Bimetal·lisme

Matèries (anglès)

Interferometry, Finite element method, Bimetallism

Citació

Col·leccions

Articles publicats en revistes (Física Aplicada)

Citació

DUARTE, Julio enrique, FERNÁNDEZ MORALES, Flavio humberto, MARTÍN BADOSA, Estela. Design and characterization of thermally actuated bimetallic membranes by Michelson interferometry. _DYNA_. 2011. Vol. 78, núm. 166, pàgs. 75-80. [consulta: 24 de gener de 2026]. ISSN: 0012-7353. [Disponible a: https://hdl.handle.net/2445/69309]

Exportar metadades

JSON - METS

Compartir registre