Carregant...
Fitxers
Tipus de document
ArticleVersió
Versió acceptadaData de publicació
Tots els drets reservats
Si us plau utilitzeu sempre aquest identificador per citar o enllaçar aquest document: https://hdl.handle.net/2445/98100
Nanocrystalline silicon thin films on PEN substrates
Títol de la revista
Director/Tutor
ISSN de la revista
Títol del volum
Recurs relacionat
Resum
We study the structural and electrical properties of intrinsic layer growth close to the transition between amorphous silicon (a-Si:H) and nanocrystalline silicon (nc-Si:H), deposited on glass and PEN without intentional heating. These samples showed different behaviour in Raman shift and XRD spectra when compared with that of samples deposited at 200 °C. Electrical properties of these films also reflect the transition between a-Si:H and nc-Si:H, and put in evidence some differences between the microstructure of the films grown on PEN and on glass. P- and n-doped layers were deposited onto glass substrate without intentional heating and at 100 °C with thicknesses ranging from 1000 nm to 35 nm. Conductivity measurements indicate the capability of doping this material, but, for very thin layers, substrate heating was found to be essential.
Matèries
Matèries (anglès)
Citació
Col·leccions
Citació
VILLAR, Fernando, ESCARRÉ I PALOU, Jordi, ANTONY, Aldrin, STELLA, Marco, ROJAS TARAZONA, Fredy e., ASENSI LÓPEZ, José miguel, BERTOMEU I BALAGUERÓ, Joan, ANDREU I BATALLÉ, Jordi. Nanocrystalline silicon thin films on PEN substrates. _Thin Solid Films_. 2007. Vol. 516, núm. 5, pàgs. 584-587. [consulta: 21 de gener de 2026]. ISSN: 0040-6090. [Disponible a: https://hdl.handle.net/2445/98100]