Amb motiu del tancament d'estiu, la validació de documents es reprendrà a partir del 28 d'agost de 2026. Disculpeu les molèsties.
Con motivo del cierre de verano, la validación de documentos se reanudará a partir del 28 de agosto de 2026. Disculpad las molestias
Due to the summer closure, document validation will resume starting August 28, 2026. We apologize for any inconvenience.

Fitxers

188305.pdf (448.99 KB)

Tipus de document

Article

Versió

Versió acceptada

Data de publicació

2002

Tots els drets reservats

Si us plau utilitzeu sempre aquest identificador per citar o enllaçar aquest document: https://hdl.handle.net/2445/47605

Studies on grain boundaries in nanocrystalline silicon grown by Hot-Wire CVD

Títol de la revista

Autors

Director/Tutor

ISSN de la revista

Títol del volum

Recurs relacionat

http://dx.doi.org/10.1016/S0022-3093(01)00943-7

Resum

The use of a tantalum wire in hot-wire chemical vapour deposition (HWCVD) has allowed the deposition of dense nanocrystalline silicon at low filament temperatures (1550 °C). A transition in the crystalline preferential orientation from (2 2 0) to (1 1 1) was observed around 1700 °C. Transmission electron microscopy (TEM) images, together with secondary ion mass spectrometry (SIMS) measurements, suggested that no oxidation occurred in materials obtained at low filament temperature due to the high density of the tissue surrounding grain boundaries. A greater concentration of SiH 3 radicals formed at these temperatures seemed to be responsible for the higher density.

Matèries

Silici, Nanocristalls, Deposició química en fase vapor, Oxigen, Pel·lícules fines, Cèl·lules solars

Matèries (anglès)

Silicon, Nanocrystals, Chemical vapor deposition, Oxygen, Thin films, Solar cells

Citació

Col·leccions

Articles publicats en revistes (Física Aplicada)

Citació

FONRODONA TURON, Marta, et al. Studies on grain boundaries in nanocrystalline silicon grown by Hot-Wire CVD. Journal of non-Crystalline Solids. 2002. Vol. 299-302, num. 1, pags. 14-19. ISSN 0022-3093. [consulted: 9 of August of 2026]. Available at: https://hdl.handle.net/2445/47605

Exportar metadades

JSON - METS

Compartir registre