Carregant...
Fitxers
Tipus de document
ArticleVersió
Versió publicadaData de publicació
Tots els drets reservats
Si us plau utilitzeu sempre aquest identificador per citar o enllaçar aquest document: https://hdl.handle.net/2445/25058
Phase-modulated ellipsometer using a Fourier transform infrared spectrometer for real time applications
Títol de la revista
Director/Tutor
ISSN de la revista
Títol del volum
Recurs relacionat
Resum
A new Fourier transform infrared phase‐modulated ellipsometer is presented. It combines the high frequency provided by a photoelastic modulator (37 kHz) with the low frequency of the Fourier transform infrared spectroscopy (<1 kHz), by means of a numerical data acquisition system. A full spectrum recording (from 900 to 4000 cm−1) can be achieved in 2 s. Thus, it allows its adaptation for kinetic in situ studies. The optical setup and the data reduction procedure are presented. In particular, a self‐consistent spectral calibration procedure is described in detail. The precision in Ψ and Δ increases from 0.3° to 0.02° when increasing the integration time from 2 to 760 s. The examples shown in this article illustrate the high sensitivity to identify and analyze the absorption vibration variations of ultrathin films (a few angstroms thick).
Matèries (anglès)
Citació
Col·leccions
Citació
CANILLAS I BIOSCA, Adolf, PASCUAL MIRALLES, Esther, DRÉVILLON, B.. Phase-modulated ellipsometer using a Fourier transform infrared spectrometer for real time applications. _Review of Scientific Instruments_. 1993. Vol. 64, núm. 8, pàgs. 2153-2159. [consulta: 24 de gener de 2026]. ISSN: 0034-6748. [Disponible a: https://hdl.handle.net/2445/25058]