Carregant...
Fitxers
Tipus de document
ArticleVersió
Versió acceptadaData de publicació
Tots els drets reservats
Si us plau utilitzeu sempre aquest identificador per citar o enllaçar aquest document: https://hdl.handle.net/2445/33011
SiC-Based MIS gas sensor for high water vapor environments
Títol de la revista
Director/Tutor
ISSN de la revista
Títol del volum
Recurs relacionat
Resum
In this work we will prove that SiC-based MIS capacitors can work in environments with extremely high concentrations of water vapor and still be sensitive to hydrogen, CO and hydrocarbons, making these devices suitable for monitoring the exhaust gases of hydrogen or hydrocarbons based fuel cells. Under the harshest conditions (45% of water vapor by volume ratio to nitrogen), Pt/TaOx/SiO2/SiC MIS capacitors are able to detect the presence of 1 ppm of hydrogen, 2 ppm of CO, 100 ppm of ethane or 20 ppm of ethene, concentrations that are far below the legal permissible exposure limits.
Matèries
Matèries (anglès)
Citació
Citació
CASALS GUILLÉN, Olga, BECKER, Thomas, GODIGNON, Philippe, ROMANO RODRÍGUEZ, Albert. SiC-Based MIS gas sensor for high water vapor environments. _Sensors and Actuators B-Chemical_. 2012. Vol. 164, núm. 1, pàgs. 101-105. [consulta: 7 de gener de 2026]. ISSN: 0925-4005. [Disponible a: https://hdl.handle.net/2445/33011]