Miniatura

Fitxers

127061.pdf (138.98 KB)

Tipus de document

Article

Versió

Versió publicada

Data de publicació

1998

Tots els drets reservats

Si us plau utilitzeu sempre aquest identificador per citar o enllaçar aquest document: https://hdl.handle.net/2445/23863

Numerical algorithm for spectroscopic ellipsometry of thick transparent films

Títol de la revista

Autors

Director/Tutor

ISSN de la revista

Títol del volum

Recurs relacionat

http://dx.doi.org/10.1364/AO.37.001177

Resum

We present a numerical method for spectroscopic ellipsometry of thick transparent films. When an analytical expression for the dispersion of the refractive index (which contains several unknown coefficients) is assumed, the procedure is based on fitting the coefficients at a fixed thickness. Then the thickness is varied within a range (according to its approximate value). The final result given by our method is as follows: The sample thickness is considered to be the one that gives the best fitting. The refractive index is defined by the coefficients obtained for this thickness.

Matèries

El·lipsometria, Anàlisi numèrica

Matèries (anglès)

Ellipsometry, Numerical analysis

Citació

Col·leccions

Articles publicats en revistes (Física Aplicada)

Citació

BOSCH I PUIG, Salvador, PÉREZ TUDELA, Julio d., CANILLAS I BIOSCA, Adolf. Numerical algorithm for spectroscopic ellipsometry of thick transparent films. _Applied Optics_. 1998. Vol. 37, núm. 1177-1179. [consulta: 25 de febrer de 2026]. ISSN: 0003-6935. [Disponible a: https://hdl.handle.net/2445/23863]

Exportar metadades

JSON - METS

Compartir registre