Carregant...
Fitxers
Tipus de document
ArticleVersió
Versió publicadaData de publicació
Llicència de publicació
Si us plau utilitzeu sempre aquest identificador per citar o enllaçar aquest document: https://hdl.handle.net/2445/219744
Spectroscopic ellipsometry of very rough surfaces
Títol de la revista
Director/Tutor
ISSN de la revista
Títol del volum
Recurs relacionat
Resum
This work expands the use of spectroscopic ellipsometry to surfaces with roughness that is similar to or larger than the wavelength of the incident light. By using a custom-built spectroscopic ellipsometer and varying the angle of incidence, we were able to differentiate between the diffusely scattered and specularly reflected components. Our findings demonstrate that measuring the diffuse component at specular angles is highly beneficial for ellipsometry analysis, as its response is equivalent to that of a smooth material. This allows for accurate determination of the optical constants in materials with extremely rough surfaces. Our results have the potential to broaden the scope and utility of the spectroscopic ellipsometry technique.
Matèries
Matèries (anglès)
Citació
Citació
BIAN, Subiao, ARTEAGA BARRIEL, Oriol. Spectroscopic ellipsometry of very rough surfaces. _Optics Express_. 2023. Vol. 31, núm. 12, pàgs. 19632-19645. [consulta: 15 de gener de 2026]. ISSN: 1094-4087. [Disponible a: https://hdl.handle.net/2445/219744]