Miniatura

Fitxers

501442.pdf (85.38 KB)

Tipus de document

Article

Versió

Versió publicada

Data de publicació

2002

Tots els drets reservats

Si us plau utilitzeu sempre aquest identificador per citar o enllaçar aquest document: https://hdl.handle.net/2445/8625

Characterization of nano-oxide layers fabricated by ion beam oxidation

Títol de la revista

Autors

Director/Tutor

ISSN de la revista

Títol del volum

Recurs relacionat

http://dx.doi.org/10.1109/TMAG.2002.802863

Resum

In this paper, a remote O2 ion source is used for the formation of nano-oxide layers. The oxidation efficiency was measured in CoFe-oxide films, and a decrease of the oxide layer with the pan angle and the oxidation pressure is observed. For the same oxidation pressure, the oxidation efficiency depends on the O2 content in the Ar-O2 plasma. These results were applied in optimizing the fabrication of Al2O3 barrier for tunnel junctions. This method was also used to fabricate junctions with Fe-oxide layers inserted at the Al2O3-CoFe interface. TEM and magnetization data indicate that after anneal at 385°C, a homogeneous ferromagnetic Fe-oxide layer (Fe3O4?) is formed.

Matèries

Oxidació, Aliatges de cobalt, Col·lisions (Física nuclear), Aliatges de ferro, Plasma (Gasos ionitzats), Microscòpia electrònica de transmissió, Efecte túnel

Matèries (anglès)

Oxidation, Cobalt alloys, Collisions (Nuclear physics), Iron alloys, Plasma (Ionized gases), Transmission electron microscopy, Tunneling (Physics)

Citació

Col·leccions

Articles publicats en revistes (Física de la Matèria Condensada)

Citació

CARDOSO, Susana, Zongzhi Zhang, Haohua Li, FERREIRA, R., FREITAS, P. p., PENG, Wei, SOARES, J. c., SNOECK, E., BATLLE GELABERT, Xavier. Characterization of nano-oxide layers fabricated by ion beam oxidation. _IEEE Transactions on Magnetics_. 2002. Vol. 38, núm. 5 (Part 1), pàgs. 2755-2757. [consulta: 27 de gener de 2026]. ISSN: 0018-9464. [Disponible a: https://hdl.handle.net/2445/8625]

Exportar metadades

JSON - METS

Compartir registre