Miniatura

Fitxers

070216.pdf (209.19 KB)

Tipus de document

Article

Versió

Versió acceptada

Data de publicació

1993

Tots els drets reservats

Si us plau utilitzeu sempre aquest identificador per citar o enllaçar aquest document: https://hdl.handle.net/2445/47603

Structure of a-Si:H/a-Si1-xCx:H multilayers deposited in a reactor with automated substrate holder

Títol de la revista

Autors

Director/Tutor

ISSN de la revista

Títol del volum

Recurs relacionat

http://dx.doi.org/10.1016/0042-207X(93)90361-D

Resum

This paper deals with the structural properties of a-Si:H/a-Si1-xCx: H multilayers deposited by glow-discharge decomposition of SiH4 and SiH4 and CH4 mixtures. The main feature of the rf plasma reactor is an automated substrate holder. The plasma stabilization time and its influence on the multilayer obtained is discussed. A series of a-Si:H/a-Si1-xCx: H multilayers has been deposited and characterized by secondary ion mass spectrometry (SIMS), X-ray diffraction (XRD) and transmission electron microscopy (TEM). No asymmetry between the two types of interface has been observed. The results show that the multilayers present a very good periodicity and low roughness. The difficulty of determining the abruptness of the multilayer at the nanometer scale is discussed.

Matèries

Silici, Semiconductors amorfs, Cèl·lules solars, Pel·lícules fines, Transistors, Nanotecnologia, Deposició química en fase vapor

Matèries (anglès)

Silicon, Amorphous semiconductors, Solar cells, Thin films, Transistors, Nanotechnology, Chemical vapor deposition

Citació

Col·leccions

Articles publicats en revistes (Física Aplicada)

Citació

BERTOMEU I BALAGUERÓ, Joan, ASENSI LÓPEZ, José miguel, PUIGDOLLERS I GONZÁLEZ, Joaquim, ANDREU I BATALLÉ, Jordi, MORENZA GIL, José luis. Structure of a-Si:H/a-Si1-xCx:H multilayers deposited in a reactor with automated substrate holder. _Vacuum_. 1993. Vol. 44, núm. 2, pàgs. 129-134. [consulta: 19 de març de 2026]. ISSN: 0042-207X. [Disponible a: https://hdl.handle.net/2445/47603]

Exportar metadades

JSON - METS

Compartir registre