Amb motiu del tancament d'estiu, la validació de documents es reprendrà a partir del 28 d'agost de 2026. Disculpeu les molèsties.
Con motivo del cierre de verano, la validación de documentos se reanudará a partir del 28 de agosto de 2026. Disculpad las molestias
Due to the summer closure, document validation will resume starting August 28, 2026. We apologize for any inconvenience.

Fitxers

147813.pdf (384.07 KB)

Tipus de document

Article

Versió

Versió acceptada

Data de publicació

2000

Tots els drets reservats

Si us plau utilitzeu sempre aquest identificador per citar o enllaçar aquest document: https://hdl.handle.net/2445/98754

The role of hydrogen in the formation of microcrystalline silicon

Títol de la revista

Autors

Director/Tutor

ISSN de la revista

Títol del volum

Recurs relacionat

http://dx.doi.org/10.1016/S0921-5107(99)00324-4

Resum

The growth mechanisms of microcrystalline silicon thin films at low temperatures (100-250°C) by plasma CVD are still a matter of debate. We have shown that ue-Si:H formation proceeds through four phases (incubation, nucleation, growth and steady state) and that hydrogen plays a key role in this process, particularly during the incubation phase in which hydrogen modifies the amorphous silicon network and forms a highly porous phase where nucleation takes place. In this study we combine in-situ ellipsometry and dark conductivity measurements with ex-situ high resolution transmission electron microscopy to improve our understanding of microcrystalline silicon formation.

Matèries

Silici, Hidrogen, Temperatures baixes, Pel·lícules fines

Matèries (anglès)

Silicon, Hydrogen, Low temperatures, Thin films

Citació

Col·leccions

Articles publicats en revistes (Física Aplicada)

Citació

FONTCUBERTA I MORRAL, A., BERTOMEU I BALAGUERÓ, Joan and ROCA I CABARROCAS, P. (Pere). The role of hydrogen in the formation of microcrystalline silicon. Materials Science and Engineering B-Solid State Materials for Advanced Technology. 2000. Vol. 69-70, num. 559-563. ISSN 0921-5107. [consulted: 19 of August of 2026]. Available at: https://hdl.handle.net/2445/98754

Exportar metadades

JSON - METS

Compartir registre