Carregant...
Fitxers
Tipus de document
ArticleVersió
Versió acceptadaData de publicació
Tots els drets reservats
Si us plau utilitzeu sempre aquest identificador per citar o enllaçar aquest document: https://hdl.handle.net/2445/61845
Technological solution for the automatic replacement of the catalytic filaments in HWCVD
Títol de la revista
Director/Tutor
ISSN de la revista
Títol del volum
Recurs relacionat
Resum
The degradation of the catalytic filaments is the main factor limiting the industrial implementation of the hot wire chemical vapor deposition (HWCVD) technique. Up to now, no solution has been found to protect the catalytic filaments used in HWCVD without compromising their catalytic activity. Probably, the definitive solution relies on the automatic replacement of the catalytic filaments. In this work, the results of the validation tests of a new apparatus for the automatic replacement of the catalytic filaments are reported. The functionalities of the different parts have been validated using a 0.2 mm diameter tungsten filament under uc-Si:H deposition conditions.
Matèries (anglès)
Citació
Col·leccions
Citació
NOS AGUILÀ, Oriol, FRIGERI, Paolo antonio, BERTOMEU I BALAGUERÓ, Joan. Technological solution for the automatic replacement of the catalytic filaments in HWCVD. _Thin Solid Films_. 2015. Vol. 575, núm. 30-33. [consulta: 21 de gener de 2026]. ISSN: 0040-6090. [Disponible a: https://hdl.handle.net/2445/61845]