New technologies and their characterisation for nanostructured SnO2 Gas sensor devices

Abstract

[spa] La presente tesis se ha centrado en el desarrollo de nuevas tecnologías para el desarrollo de sensores de gas semiconductores. Por tal motivo se han desarrollado dos técnicas para el desarrollo de nanopartículas de SnO2. Paralelamente se ha diseñado y realizado diversos tipos de substratos basados en alúmina y silicio micromecanizados. Con el objetivo de implementar las nanopartículas en estos substratos se han desarrollado dos nuevas técnicas para dicha implementación, llamadas micropinting y recubrimientos por pulverización. Finalmente, con los dispositivos obtenidos se ha concebido un algortimo para la cuantificación de CO y CH4 en mezclas binarias. Desde un punto de vista científico, se ha realizado una caracterización de SnO2 atendiendo a la temperatura de estabilización del material y hallando la evolución nanostructural de dicho óxido de estaño.