L'el·lipsometria, una eina de caracterització òptica dels materials

Abstract

El nom el·lipsometria va ser introduït l'any 1945 per Alexandre Rothen en un article publicat a Review of Scientific Instruments, titulat The Ellipsometer,an Apparatus to Measure Thicknesses of Thin Films. L'el·lipsometria, en el sentit més general, fa referencia a la mesura del canvi de l'estat de polarització de la llum en reflectir-se en una superfície. Del resultat de la mesura el.lipsomètrica es poden pot obtenir les constants òptiques del material que origina la reflexió. Les primeres experiències el.lipsomètriques daten del final del segle XIX; bàsicament, en aquestes experiències s'utilitzaven dos polaritzadors. Un, per tal de polaritzar la llum que es feia incidir sobre el material, i un altre, el qual s'anomena analitzador, que servia per determinar l'estat de polarització de la llum reflectida (Casas, 1980).