Caracterización estructural de capas epitaxiadas de InGaAs/InAlAs crecidas sobre substratos (111) de InP

dc.contributor.authorVilà i Arbonès, Anna Maria
dc.contributor.authorPeiró Martínez, Francisca
dc.contributor.authorCornet i Calveras, Albert
dc.contributor.authorMorante i Lleonart, Joan Ramon
dc.date.accessioned2015-05-08T10:26:13Z
dc.date.available2015-05-08T10:26:13Z
dc.date.issued1997
dc.date.updated2015-05-08T10:26:13Z
dc.description.abstractSe ha analizado por microscopía electrónica en transmisión (TEM) la estructura de transistores HEMT basados en un pozo cuántico tensionado de InGaAs/InAlAs crecido sobre un sustrato {111} de InP. Se han observado dislocaciones filiformes y defectos planares que cruzan la capa superior hacia la superficie, así como maclas paralelas a la interficie y grandes complejos defectivos en forma de V que se nuclean unos pocos nanometres por encima de la interficie entre el pozo cuántico y la capa superior que lo confina. La estructura de los defectos es muy diferente de la observada en heteroestructuras similares crecidas sobre sustratos {100}, hecho que sugiere que hay que tener en cuenta consideraciones sobre el proceso mismo de nucleación de los defectos junto con las convencionales relacionadas con el desajuste de redes.
dc.format.extent4 p.
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.identifier.idgrec118049
dc.identifier.issn0366-3175
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/2445/65455
dc.language.isospa
dc.publisherConsejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC)
dc.relation.isformatofReproducció del document publicat a: http://boletines.secv.es/areas/home.php?id=36
dc.relation.ispartofBoletin de la Sociedad Española de Ceramica y Vidrio, 1997, vol. 36, num. 3, p. 275-278
dc.rightscc-by-nc (c) Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC). Sociedad Española de Ceramica y Vidrio, 1997
dc.rights.accessRightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc/3.0/es
dc.sourceArticles publicats en revistes (Enginyeria Electrònica i Biomèdica)
dc.subject.classificationPous quàntics
dc.subject.otherQuantum wells
dc.titleCaracterización estructural de capas epitaxiadas de InGaAs/InAlAs crecidas sobre substratos (111) de InP
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/article
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion

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