Carregant...
Tipus de document
Treball de fi de grauData de publicació
Llicència de publicació
Si us plau utilitzeu sempre aquest identificador per citar o enllaçar aquest document: https://hdl.handle.net/2445/124577
MoOx thin films deposition by reactive RF-magnetron sputtering
Títol de la revista
Autors
Director/Tutor
ISSN de la revista
Títol del volum
Recurs relacionat
Resum
Sub-stoichiometric molybdenum oxide (MoOx, x < 3) thin films are deposited and analyzed to find optimum parameters for its use in heterojunction solar-cells. Deposition is done on n-type crystalline silicon wafer and glass substrates by reactive RF-magnetron sputtering. Oxygen partial pressure and deposition pressure are the two parameters used to vary stoichiometry inflluencing other characteristics. Stoichiometric composition, thickness, electrical properties and optical response have been studied to characterize the deposited thin films. MoOx, as other transition metal oxides, on the n-type silicon wafer act as a hole-selective layer. It is a good way of providing a p+-n junction without using dopant.
Descripció
Treballs Finals de Grau de Física, Facultat de Física, Universitat de Barcelona, Curs: 2018, Tutor: Joan Bertomeu
Matèries
Matèries (anglès)
Citació
Col·leccions
Citació
RAMIS-MASACHS, Mireia. MoOx thin films deposition by reactive RF-magnetron sputtering. [consulta: 21 de gener de 2026]. [Disponible a: https://hdl.handle.net/2445/124577]